EUV机台出货遭老美卡关换出路 两大咖救援中芯国际

ASML要出货给中芯国际的EUV机台至今仍未有下文。 (图/路透)

中国大陆晶圆代工龙头中芯国际曾在2018年5月向半导体生产设备商荷商艾司摩尔(ASML)订购价值1.2亿美元极紫外光（EUV）光刻设备，却因瓦圣纳协定（ Wassenaar Arrangement）以及美国政府在背后施压，中芯国际的采购仍无下文。但在陆美科技对抗加剧的现今，北京当局也加速推动半导体自主化进程，晶圆代工领域重要环节之一的半导体设备供应，采购也有转向本土厂商采购的趋势。

据第一财经报导指出，受益于大陆晶圆代工厂扩厂入潮以及大陆半导体自主化政策推升，大陆半导体生产设备龙头北方华创与中微公司上半年业绩大提升。北方华创上月底披露2020年上半年财报显示，合并营收21.77亿元人民币(下同)、年增31.57%；归属母公司净利润为1.84亿元、年增43.18%。其中，扣除非经常性损益净利润年增287.96%。

北方华创表示，公司持续半导体生产设备新品开发和市场扩展工作，刻蚀机、PVD、CVD、ALD、清洗机、立式炉、外延炉等半导体生产设备在先进制程工艺认证取得阶段性成果，部分制程工艺完成验证。

北方华创声称，28奈米刻蚀设备已经量产，16/14奈米刻蚀设备进入大陆主要厂商生产线验证，目前该公司主要客户为中芯国际、长江存储、华虹集团、隆基股份以及三安光电。中芯国际想要引进的EUV光刻设备，则较刻蚀机的技术更为复杂。

至于中微公司，在刻蚀机、MOCVD设备以及其他产品，较同业保有更优势的技术与良好的客户基础，半导体生产设备与零组件销售较去年同期增加，等离子体刻蚀机已应用在国际一线客户，从65奈米到14奈米、7奈米和5奈米的晶圆代工生产线及先进封装生产线。

国际半导体协会（SEMI）报告显示，新冠肺炎疫情对于整个半导体产业前景不利，但大陆半导体生产设备资本支出能有机会年增5%，将达到120亿美元，并在2021年达150亿美元资本支出。

中芯国际今年7月底宣布，将与北京开发区管委会有意共同成立合资企业，聚焦生产28奈米及以上制程，该项目首期估计投资及初始注册资本，将分别为76亿美元及50亿美元。

原为台积电前研发处长的梁孟松，在2017年10月加入中芯国际，短短300天协助其突破陷入多年研发困境的14奈米FinFET制程，如今也投入N+1、N+2世代制程研发。

虽然中芯国际想引进的EUV机台，协助全球晶圆代工龙头台积电7奈米制程获得巨大进展，中芯国际Q2财报显示，合并营收达9.38亿美元，0.15/0.18 微米、55/65奈米制程各占3成，14/28 奈米贡献营收9.1%，显示中芯国际所掌握的先进制程技术，占整体营收贡献相当有限。

中芯国际的动作显然是想展现发展先进制程的决心，但EUV机台遭到美国政府出手拦截，着重在稳定供应大陆厂商晶片需求，同时又能扩展大陆半导体生产设备业务，虽大陆半导体自给率要从现在的30%提升至2025年70%目标有些难度，但的确也是努力推进大陆半导体自主化的策略。