
据媒体报导,中芯国际将针对EUV设备与艾司摩尔谈判。 (图/达志影像/shutterstock)
据业内人士消息指出,在新任副董事长蒋尚义(人称蒋爸)的协助下,中芯国际将寻求与荷兰半导体设备大厂艾司摩尔(ASML)进行谈判,希望能采购荷商的极紫外光(EUV)设备。
新浪科技报导,中芯国际一直无法从艾司摩尔取得EUV设备,尽管艾司摩尔在法律上不受某些约束条件的影响,但仍存在顾虑。
EUV(极紫外光)利用波长非常短的光,在矽片上形成数十亿个微小结构,构成一个晶片,与旧型设备相较,EUV设备可以生产更小、更快、更强大的晶片。
据了解,中芯国际打算利用EUV设备,来生产7奈米以下制程技术的晶片产品。
中芯国际执行长梁孟松15日在辞职声明中透露,已开发完成7奈米技术,明年4月进入风险量产;至于更先进的5奈米和3奈米制程,只要EUV光刻机到来,就可进入全面开发。换句话说,有了EUV机台,中芯国际也能进行3奈米晶片的量产。

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